杭州中欣晶圓8&12寸化學(xué)品系統(tǒng)項(xiàng)目
Slurry系統(tǒng)、TMAH CDM系統(tǒng)、PC-DH2 CDM系統(tǒng),設(shè)計(jì)、制造、安裝及調(diào)試。
安徽富樂德長(zhǎng)江半導(dǎo)體化學(xué)品系統(tǒng)項(xiàng)目
8”及12”化學(xué)品CDS系統(tǒng),設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試及一次配、二次配。
浙江麗水中欣晶圓12寸化學(xué)品系統(tǒng)項(xiàng)目
12”化學(xué)品CDS系統(tǒng),設(shè)計(jì)、制造、安裝、調(diào)試及一次配、二次配